[发明专利]用于从载流子生成空间提取载流子的设备以及用于运行这种设备的方法有效
| 申请号： | 201680005175.9 | 申请日： | 2016-01-06 |
| 公开（公告）号： | CN107112177B | 公开（公告）日： | 2019-03-12 |
| 发明（设计）人： | J·马伊;A·卢卡;M·萨斯特德特 | 申请（专利权）人： | 迈尔博尔格(德国)股份公司 |
| 主分类号： | H01J27/02 | 分类号： | H01J27/02 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 李骏 |
| 地址： | 德国霍恩施泰*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于从载流子生成空间提取载流子的设备，其具有至少一个用于提取载流子的电极装置，其中，所述至少一个电极装置至少具有一个第一栅电极和一个第二栅电极，它们具有相对应的开口。所述第一和第二栅电极分别包含至少一个导电的第一栅电极区域，其中，所述第一栅电极的所述至少一个第一栅电极区域构成在第一层中，而所述第二栅电极的所述至少一个第一栅电极区域构成在第二层中。第一层和第二层沿粒子出射方向依次设置在电极装置内部并且相互间通过第一间距沿着粒子出射方向间隔开，其中，所述第一栅电极的所述至少一个第一栅电极区域在所述第一层中形成导电的第一层部分。此外，在所述第一层中构成有导电的第二层部分，该第二层部分与第一层部分电绝缘。所述第二层部分通过所述第一栅电极或所述第二栅电极的至少一个导电的第二栅电极区域形成，并且所述第二层部分与所述第二栅电极的所述至少一个第一栅电极区域导电连接。根据本发明的用于提取载流子的设备因此是可电气切换的提取栅电极装置，借助所述设备能够改变由提取的载流子构成的粒子射束的射束特性。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 载流子 生成 空间 提取 设备 以及 运行 这种 方法 | ||
【主权项】：
1.用于从载流子生成空间提取载流子的设备，该设备具有用于提取载流子的至少一个电极装置，其中，所述至少一个电极装置至少具有一个第一栅电极和一个第二栅电极，所述第一栅电极和第二栅电极具有相对应的开口，所述第一栅电极和第二栅电极分别包含至少一个导电的第一栅电极区域，其中，第一栅电极的所述至少一个第一栅电极区域构成在第一层中，而第二栅电极的所述至少一个第一栅电极区域构成在第二层中，其中，所述第一层和所述第二层沿粒子出射方向依次设置在电极装置内部并且相互间沿着粒子出射方向通过第一间距间隔开，其中，所述第一栅电极的所述至少一个第一栅电极区域在第一层中形成导电的第一层部分，并且在第一层中构成有导电的第二层部分，其中，第一层部分和第二层部分彼此电绝缘，其特征在于，在所述第一层和所述第二层中均构成有开口，这些开口适用于载流子穿流，所述第二层部分通过所述第一栅电极的或所述第二栅电极的至少一个导电的第二栅电极区域形成，并且所述第二层部分与所述第二栅电极的所述至少一个第一栅电极区域导电连接。
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