[实用新型]一种高效多晶硅锭铸造用坩埚

摘要

本实用新型公开了一种高效多晶硅锭铸造用坩埚，包括坩埚内壁、坩埚外壁和支架，坩埚内壁的外侧设置有坩埚外壁，坩埚内壁和坩埚外壁之间设置有管道，管道之间均设置有隔热板，管道的一端设置有管道进口，管道进口的一侧设置有管道出口，管道进口和管道出口之间设置有分隔板，管道进口的内部设置有水泵a，管道出口的内部设置有水泵b，坩埚外壁的底部设置有超声波振荡器，坩埚外壁的顶部设置有锁扣a，坩埚外壁的一侧设置有支架，支架的顶部设置有锁扣b，锁扣a和锁扣b之间设置有橡胶垫。本实用新型设计合理，结构简单，使用便捷，能够有效地控制热场，从而极大地提高多晶硅锭的质量。

主权项

一种高效多晶硅锭铸造用坩埚，包括坩埚内壁（1）、坩埚外壁（2）和支架（5），其特征在于，所述坩埚内壁（1）的外侧设置有坩埚外壁（2），所述坩埚内壁（1）和坩埚外壁（2）之间设置有管道（3），所述管道（3）之间均设置有隔热板（4），所述管道（3）的一端设置有管道进口（9），所述管道进口（9）的一侧设置有管道出口（10），所述管道进口（9）和管道出口（10）之间设置有分隔板（17），所述管道进口（9）的内部设置有水泵a（15），所述管道出口（10）的内部设置有水泵b（16）。