[实用新型]一种新型硅晶炉有效
| 申请号： | 201621487645.3 | 申请日： | 2016-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN206308446U | 公开（公告）日： | 2017-07-07 |
| 发明（设计）人： | 赵亮;冯立学;朱松涛;杨定勇 | 申请（专利权）人： | 河北凌樱新能源科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B28/06 | 分类号： | C30B28/06;C30B29/06 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 071400 河北省保*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种新型硅晶炉，其包括炉壳，所述的炉壳的底壁上设有支撑柱，支撑柱的顶端设有坩埚座，在坩埚座上设有坩埚，在炉壳内还设有供气管，供气管的一端与炉壳的进气口相接通，供气管的另一端延伸至坩埚的内腔，在炉壳的两侧分别设有第一出气口和第二出气口，第一出气口与第二出气口成镜像对称，所述的第一出气口和第二出气口高于坩埚下表面，第一出气口和第二出气口低于供气管的出气端，采用双开口式结构，使得惰性气体进入坩埚后均匀向两侧扩散，使得惰性气体分散均匀后下料加热，使得各个部分惰性气体分散浓度相同，不会出现侧偏的情况。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 硅晶炉 | ||
【主权项】：
一种新型硅晶炉，包括炉壳（1），其特征在于：所述的炉壳的底壁上设有支撑柱（2），支撑柱的顶端设有坩埚座（3），在坩埚座上设有坩埚（7），在炉壳内还设有供气管（5），供气管的一端与炉壳的进气口相接通，供气管的另一端延伸至坩埚的内腔，在炉壳的两侧分别设有第一出气口和第二出气口，第一出气口与第二出气口成镜像对称，所述的第一出气口和第二出气口高于坩埚下表面，第一出气口和第二出气口低于供气管的出气端。
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