[实用新型]消除微球表面静电的装置有效
| 申请号： | 201621454944.7 | 申请日： | 2016-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN206314049U | 公开（公告）日： | 2017-07-07 |
| 发明（设计）人： | 张玲;陈果;何小珊;何智兵;王涛;刘艳松;李俊 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46;H05F3/04 |
| 代理公司： | 成都虹桥专利事务所(普通合伙)51124 | 代理人： | 杨长青 |
| 地址： | 621900*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种消除微球表面静电的装置，解决现有消除微球表面静电的装置在大气下进行，会引入杂质以导致微球表面氧化的问题，采用的技术方案是消除微球表面静电的装置，包括石英谐振腔以及盘绕于石英谐振腔外侧的天线，天线为盘香型且与射频匹配网络连接；石英谐振腔外侧安装真空测量的电阻单元和电离单元，以及真空抽气口和进气口，石英谐振腔上还配置接地位。消除微球表面静电的方法，先配置微球于托盘中，托盘置于石英谐振腔内；其次对石英谐振腔进行抽真空，再通入放电气体；再次，开启射频电源，射频匹配网络向天线提供射频信号，以产生等离子体，等离子体中的离子、电子分别与微球表面负电荷、正电荷中和，达到消除静电的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 消除 表面 静电 装置 | ||
【主权项】：
消除微球表面静电的装置，其特征在于：包括石英谐振腔(1)以及盘绕于所述石英谐振腔(1)外侧的天线(10)，所述天线(10)为盘香型且与射频匹配网络(11)连接；所述石英谐振腔(1)外侧安装真空测量的电阻单元(3)和电离单元(4)，以及真空抽气口(12)和进气口(6)，石英谐振腔(1)上还配置接地位(7)。
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