[实用新型]管路清洗装置有效

专利信息
申请号: 201621425486.4 申请日: 2016-12-23
公开(公告)号: CN206356333U 公开(公告)日: 2017-07-28
发明(设计)人: 裴家旺;王晓晨 申请(专利权)人: 中芯国际集成电路制造(天津)有限公司;中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
主分类号: B08B9/032 分类号: B08B9/032;B08B13/00;F26B21/00
代理公司: 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)31237 代理人: 屈蘅,李时云
地址: 300385 天津市西青*** 国省代码: 天津;12
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摘要: 实用新型提供了一种管路清洗装置,包括清洗液槽,所述清洗液槽通过一液体泵与传输管道的接入端连接,所述传输管道的另一端连接待清洗管路后通入所述清洗液槽;所述传输管道的接入端还连接一气体泵,所述传输管道的接入端通过管道选择装置与所述液体泵连通或者与所述气体泵连通。本实用新型提供的管路清洗装置,通过液体泵可使得清洗液槽内的清洗液进入传输管道以及与传输管道连接的待清洗管路中,实现对于待清洗管路的清洗工作;使用后的清洗液再通入至所述清洗液槽中实现循环清洗的功能;通过控制管道选择装置来选择连通气体泵,然后可通过气体泵向传输管道以及与传输管道连接的待清洗管路内通入气体来吹干已清洗的管路。
搜索关键词: 管路 清洗 装置
【主权项】:
一种管路清洗装置,其特征在于,所述管路清洗装置包括:清洗液槽,所述清洗液槽通过一液体泵与传输管道的接入端连接,所述传输管道的另一端连接待清洗管路后通入所述清洗液槽;所述传输管道的接入端还连接一气体泵,所述传输管道的接入端通过管道选择装置与所述液体泵连通或者与所述气体泵连通。
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