[实用新型]一种柔性线路板曝光装置有效
申请号: | 201621337812.6 | 申请日: | 2016-12-07 |
公开(公告)号: | CN206249005U | 公开(公告)日: | 2017-06-13 |
发明(设计)人: | 王家宏;王军;张江惠 | 申请(专利权)人: | 扬州华盟电子有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 南京申云知识产权代理事务所(普通合伙)32274 | 代理人: | 邱兴天 |
地址: | 225600 江苏省扬*** | 国省代码: | 江苏;32 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本实用新型公开了一种柔性线路板曝光装置,包括曝光单元和载具,载具包括透明的上玻璃板和透明的下玻璃板,上、下玻璃板之间形成密封的腔室,上玻璃板具有一圈凸起,下玻璃板具有一圈凹槽;曝光单元包括壳体,位于壳体内的下框部和上框部,下框部用于承载所述下玻璃板,上框部下表面固定有第一气缸和第二气缸,第一、二气缸的活塞端用于抵压所述上玻璃板的上表面,壳体内还具有位于上框部上方的第一曝光光源和位于下框部下方的第二曝光光源。本实用新型的曝光装置曝光效率高。 | ||
搜索关键词: | 一种 柔性 线路板 曝光 装置 | ||
【主权项】:
一种柔性线路板曝光装置,其特征在于,包括曝光单元和载具,所述载具包括透明的上玻璃板和透明的下玻璃板,所述上玻璃板下表面具有第一凹槽,下玻璃板上表面具有第二凹槽,所述第一、二凹槽之间形成密封的腔室,所述上玻璃板下表面具有一圈凸起,所述下玻璃板上表面具有与所述一圈凸起啮合的一圈凹槽,所述下玻璃板内还具有抽真空通道,所述抽真空通道的一端位于第二凹槽的底面,另一端位于下玻璃板的侧面,所述抽真空通道的另一端上连接有管路,所述管路上具有阀门,所述抽真空通道内还具有气压传感器;所述曝光单元包括壳体,位于壳体内的下框部和位于壳体内的上框部,所述下框部用于承载所述下玻璃板,所述上框部下表面固定有第一气缸和第二气缸,第一、二气缸的活塞端用于抵压所述上玻璃板的上表面,所述壳体内还具有位于上框部上方的第一曝光光源和位于下框部下方的第二曝光光源,所述曝光单元还包括控制器和真空泵,所述真空泵能够与所述管路连接。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于扬州华盟电子有限公司,未经扬州华盟电子有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201621337812.6/,转载请声明来源钻瓜专利网。