[实用新型]多晶硅铸锭炉保护气热循环系统

摘要

本实用新型公开了一种多晶硅铸锭炉保护气热循环系统，进气管的出口处设置有螺旋桨，使得保护气形成有效的螺旋流动并带动硅液流动而有效排出杂质，废气经集气后排出至热交换器进行热交换以预热进入进气管的保护气后再进入吸收器吸收一氧化碳，净化后的保护气经干燥后进入回收罐以重复使用，有效避免了一氧化碳气体进入大气而导致危害发生，且净化后的保护气可以重复回收使用而降低了使用成本，且热交换器设置可以有效回收尾气热能并对进气预热以降低能耗。

主权项

一种多晶硅铸锭炉保护气热循环系统，所述铸锭炉包括：炉体，所述炉体上设置有进气管，所述炉体内设置有保温护罩，所述保温护罩内设置有坩埚、对应所述坩埚的石墨护罩、对应所述石墨护罩的顶部加热器及侧部加热器以及位于所述石墨护罩底部的散热平台，所述顶部加热器与侧部加热器由安装在所述炉体顶部的外部加热铜电极控制以实现对石墨护罩顶部及侧部的外部加热，所述保温护罩及散热平台通过设置在所述炉体底部的石墨支柱来支撑，所述散热平台支撑所述石墨护罩；其特征在于，所述进气管的出口处设置有高纯度耐高温材质制备的螺旋桨，通过进气管的高速保护气气流冲击螺旋桨后使螺旋桨旋转，进而使得进入所述石墨护罩腔室内的保护气形成有效的螺旋流动，并进一步带动硅液流动而有效排出硅液内部杂质；所述石墨护罩包括石墨底板、石墨侧板及石墨盖板，所述石墨底板支撑所述坩埚；所述进气管通过所述石墨盖板连通至所述石墨护罩内部空间，所述石墨侧板与石墨盖板上设置有所述排气孔，所述排气孔排出的尾气经设置的集气罩集气后通过排气管排出至所述炉体外部，并导入至热交换器对尾气进行热交换处理；经过所述热交换器处理的尾气导入吸收器的吸收液内，且所述吸收器具有搅拌器用于搅拌吸收液；经吸收后的尾气经干燥器干燥后导入至尾气回收罐，尾气回收罐内的保护气经导气管引出并经过所述热交换器并与尾气实现热交换预热后进入所述进气管，经所述进气管及螺旋桨循环进入所述石墨护罩腔室内。