[实用新型]多晶硅铸锭炉的加热装置

摘要

本实用新型公开了一种多晶硅铸锭炉的加热装置炉体，炉体上设置有进气管，炉体内设置有保温护罩，保温护罩内设置有坩埚、对应坩埚的石墨护罩、对应石墨护罩的加热器及散热平台；所述侧部加热器通过卡套连接至所述顶部加热器，通过调节所述卡套在所述顶部加热器的水平位置以调节所述侧部加热器与石墨护罩的间距以满足不同的加热需求。

主权项

一种多晶硅铸锭炉的加热装置，所述铸锭炉包括：炉体，所述炉体上设置有进气管，所述炉体内设置有保温护罩，所述保温护罩内设置有坩埚、对应所述坩埚的石墨护罩以及位于所述石墨护罩底部的散热平台，所述保温护罩及散热平台通过设置在所述炉体底部的石墨支柱来支撑，所述散热平台支撑所述石墨护罩；其特征在于，所述加热装置包括：对应所述石墨护罩的顶部加热器及侧部加热器，所述顶部加热器平行于所述石墨护罩的盖板设置，所述侧部加热器平行于所述石墨护罩的侧板设置并与所述顶部加热器垂直连接；所述顶部加热器与侧部加热器由安装在所述炉体顶部的外部加热铜电极控制以实现对石墨护罩顶部及侧部的外部加热；所述侧部加热器与所述顶部加热器通过位移机构连接以调节所述侧部加热器与石墨护罩侧板的间距；所述进气管的出口处设置有高纯度耐高温材质制备的螺旋桨，通过进气管的高速保护气气流冲击螺旋桨后使螺旋桨旋转，进而使得进入所述石墨护罩腔室内的保护气形成有效的螺旋流动，并进一步带动硅液流动而有效排出硅液内部杂质，废气通过设置在所述石墨护罩上的排气孔导出至所述石墨护罩的腔室外部。