[实用新型]多晶硅铸锭炉的热场结构

摘要

本实用新型公开了一种多晶硅铸锭炉的热场结构，坩埚中部的中心圆柱铜电极及中心圆柱加热器，坩埚的中部设置有对应中心圆柱加热器的中心圆柱加热槽，中心圆柱加热器设置在中心圆柱加热槽内；石墨护罩的侧壁由上至下厚度递减并形成倒置梯形，石墨护罩的侧壁对应坩埚的一侧面垂直设置并平行于坩埚的壁面且外侧面倾斜设置；侧部加热器倾斜设置并与石墨护罩侧壁的外侧面平行设置。该实用新型由于在坩埚的中间采用入圆柱加热并通过将热场结构的石墨护罩侧壁厚度逐渐变小，并配合将侧部加热器倾斜设置，可以有效提高坩埚内底部及底角处物料的加热效率，从而整体提高多晶硅的受热均匀度以提高结晶均匀度及铸锭质量。

主权项

一种多晶硅铸锭炉的热场结构，所述铸锭炉包括：炉体，所述炉体上设置有抽气孔，所述炉体内设置有保温护罩，所述保温护罩内设置有坩埚、对应所述坩埚的石墨护罩、对应所述石墨护罩的顶部加热器及侧部加热器以及位于所述石墨护罩底部的散热平台，所述顶部加热器与侧部加热器由安装在所述炉体顶部的外部加热铜电极控制以实现对石墨护罩顶部及侧部的外部加热，所述保温护罩及散热平台通过设置在所述炉体底部的石墨支柱来支撑，所述散热平台支撑所述石墨护罩，所述石墨护罩的底板支撑所述坩埚，其特征在于，所述热场结构还包括对应所述坩埚中部的中心圆柱铜电极及中心圆柱加热器，所述坩埚的中部设置有对应所述中心圆柱加热器的中心圆柱加热槽，所述中心圆柱加热器设置在所述中心圆柱加热槽内；其中，所述热场结构的石墨护罩的侧壁采用梯形结构，即所述石墨护罩的侧壁由上至下厚度递减并形成倒置梯形，且所述石墨护罩的侧壁对应所述坩埚的一侧面垂直设置并平行于所述坩埚的壁面，所述石墨护罩的侧壁外侧面倾斜设置；对应所述石墨护罩侧壁外侧面的所述侧部加热器倾斜设置并与所述石墨护罩侧壁的外侧面平行设置。