[实用新型]多晶硅铸锭炉固液界面测量机构

摘要

本实用新型公开了一种多晶硅铸锭炉固液界面测量机构，其通过空心石英棒感应固液界面传递给压力传感器，进而通过控制器及电机驱动滚珠丝杆实现空心石英棒的上下调节，并通过红外发生器发射红外线进入空心石英棒底部，然后通过石英棱镜的反射而使多道红外线分别测量出固液界面底部至顶部的水平及垂直距离，进而反馈至控制器进行分析，从而判断出固液界面中心与四周围的高低位置关系，及时对熔化过程或者长晶过程的参数进行调整，提高产品成品率，减少损失。

主权项

一种多晶硅铸锭炉固液界面测量机构，所述铸锭炉包括：炉体，所述炉体上设置有抽气孔，所述炉体内设置有保温护罩，所述保温护罩内设置有坩埚、对应所述坩埚的石墨护罩、对应所述石墨护罩的顶部加热器及侧部加热器以及位于所述石墨护罩底部的散热平台，所述顶部加热器与侧部加热器由安装在所述炉体顶部的外部加热铜电极控制以实现对石墨护罩顶部及侧部的外部加热，所述保温护罩及散热平台通过设置在所述炉体底部的石墨支柱来支撑，所述散热平台支撑所述石墨护罩，所述石墨护罩的底板支撑所述坩埚，其特征在于：所述炉体顶部通过支柱垂直安装有电机，所述电机垂直驱动有滚珠丝杆，所述滚珠丝杆上水平安装有位移支杆并随所述滚珠丝杆的转动而上下移动；所述位移支杆的另一端通过压力传感器垂直安装有空心石英棒，所述空心石英棒的一端垂直伸入所述坩埚内；所述空心石英棒的顶端设置有红外发生器，所述电机与红外发生器均连接至一控制器；所述空心石英棒的底部沿轴向设置有多个石英棱镜，用于将所述红外发生器发射的红外线反射呈水平红外线。