[实用新型]一种多源小功率低温等离子体聚合涂层装置

摘要

一种多源小功率低温等离子体聚合涂层装置，属于等离子体技术领域。在该装置中，主真空室壁上安装多个放电腔，在每个放电腔通往主真空室的开口处安装一个平面接地栅网；在每个放电腔内安装多孔电极板，多孔电极板与栅网平行并保持间隙，通过绝缘支架固定在放电腔壁上，并通过导线连接小功率高频电源，其上均匀分布通孔；载体气体管路和单体蒸汽管路分别连接到每个放电腔内，真空排气管连接到主真空室内，待处理的基材放在主真空室内部。本实用新型装置具有等离子体空间分布均匀，批处理产品质量均一性好，等离子体能量、密度较低，化学单体结构不易被过度破坏，形成的聚合物涂层质量好，各放电腔能够靠近安装，互相之间不干扰等优点。

主权项

一种多源小功率低温等离子体聚合涂层装置，其特征在于：在主真空室(1)壁上安装多个放电腔(2)，在每个放电腔(2)通往主真空室(1)的开口处安装一个平面接地栅网(3)，在每个放电腔(2)内靠近栅网(3)处安装多孔电极板(4)，多孔电极板(4)与栅网(3)平行并保持间隙，多孔电极板(4)通过绝缘支架(10)固定在放电腔(2)壁上，多孔电极板(4)通过导线(11)连接小功率高频电源(5)，多孔电极板(4)上均匀分布通孔，载体气体管路(6)和单体蒸汽管路(7)分别连接到每个放电腔(2)内，载体气体管路(6)和单体蒸汽管路(7)另一端分别连接到载体气体源和单体蒸汽源，真空排气管(8)连接到主真空室(1)内，真空排气管另一端连接到真空泵，待处理的基材(9)放在主真空室(1)内部，且位于放电腔(2)外部。