[实用新型]一种3D盖板曝光定位结构有效
| 申请号： | 201621280721.3 | 申请日： | 2016-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN206282077U | 公开（公告）日： | 2017-06-27 |
| 发明（设计）人： | 余燕青 | 申请（专利权）人： | 东莞市友辉光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F9/00 |
| 代理公司： | 东莞市创益专利事务所44249 | 代理人： | 李卫平 |
| 地址： | 523000 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及电子产品盖板技术领域，尤其是涉及一种3D盖板曝光定位结构，包括有工作台，工作台安装在三自由度定位模组上，三自由度定位模组则组装在直线往复运动机构上；曝光MASK架设在工作台上方，曝光MASK提供曝光图形；CCD影像对位机构设置在曝光MASK上方并与电脑连接，CCD影像对位机构具有n个CCD镜头；藉此，工作时，3D盖板放在工作台上，CCD影像对位机构抓取 3D盖板的轮廓影像，经电脑分析处理比对曝光MASK上的曝光图形，而三自由度定位模组依据电脑给的指令调整工作台上的3D盖板与曝光MASK的曝光图形对齐。定位效率高，其操作容易、驱动简易、运动形式多样化，有利于3D盖板曝光定位实施。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 盖板 曝光 定位 结构 | ||
【主权项】：
一种3D盖板曝光定位结构，其特征在于：该结构包括有：工作台（1），所述工作台（1）安装在三自由度定位模组（4）上，三自由度定位模组（4）则组装在直线往复运动机构（5）上；曝光MASK（3），该曝光MASK（3）架设在工作台（1）上方，曝光MASK（3）提供曝光图形；CCD影像对位机构（2），该CCD影像对位机构（2）设置在曝光MASK（3）上方并与电脑连接，CCD影像对位机构（2）具有n个CCD镜头（21），n≥3；藉此，工作时，3D盖板放在工作台（1）上，CCD影像对位机构（2）抓取 3D盖板的轮廓影像，经电脑分析处理比对曝光MASK（3）上的曝光图形，而三自由度定位模组（4）依据电脑给的指令调整工作台（1）上的3D盖板与曝光MASK（3）的曝光图形对齐。
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