[实用新型]一种四氯化锗液位自动控制系统有效
| 申请号： | 201621279574.8 | 申请日： | 2016-11-24 |
| 公开（公告）号： | CN206235894U | 公开（公告）日： | 2017-06-09 |
| 发明（设计）人： | 骆金卫 | 申请（专利权）人： | 江苏奥维信亨通光学科技有限公司 |
| 主分类号： | G05D9/12 | 分类号： | G05D9/12 |
| 代理公司： | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙)11350 | 代理人： | 汤东凤 |
| 地址： | 215000 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种四氯化锗液位自动控制系统，其包括鼓泡器、收容在鼓泡器内的储存罐、储存四氯化锗的原液罐以及与储存罐管道连通沉积炉，还包括连通所述储存罐与所述原液罐的加注管、检测所述储存罐内液位的红外激光传感器、设置在所述加注管上的电磁阀、控制所述电磁阀导通或阻断的第一PLC控制器以及采集所述沉积炉运行状态的第二PLC控制器，所述第一PLC控制器与所述电磁阀、所述红外激光传感器以及所述第二PLC控制器电信号连接。本实用新型能够消除人为操作失误和操作量不当所引起的损失，同时通过高精度红外传感器实现四氯化锗的精准加注。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氯化 锗液位 自动控制系统 | ||
【主权项】：
一种四氯化锗液位自动控制系统，其包括鼓泡器、收容在鼓泡器内的储存罐、储存四氯化锗的原液罐以及与储存罐管道连通沉积炉，其特征在于：还包括连通所述储存罐与所述原液罐的加注管、检测所述储存罐内液位的红外激光传感器、设置在所述加注管上的电磁阀、控制所述电磁阀导通或阻断的第一PLC控制器以及采集所述沉积炉运行状态的第二PLC控制器，所述第一PLC控制器与所述电磁阀、所述红外激光传感器以及所述第二PLC控制器电信号连接。
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