[实用新型]基板检测装置有效
申请号: | 201621194642.0 | 申请日: | 2016-11-04 |
公开(公告)号: | CN206292182U | 公开(公告)日: | 2017-06-30 |
发明(设计)人: | 张志强 | 申请(专利权)人: | 艾斯迈科技股份有限公司 |
主分类号: | G01N21/892 | 分类号: | G01N21/892;G01N21/01 |
代理公司: | 上海信好专利代理事务所(普通合伙)31249 | 代理人: | 尹兵 |
地址: | 中国台湾新北*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种基板检测装置,包含装置本体、承载模块、照明摄像模块及控制模块。装置本体的一面可活动地设有位移单元,位移单元的一面设有发光件,并且,装置本体的所述的一面悬设升降单元。承载模块悬设在位移单元的一面,承载模块相对位移单元的一面活动地设有若干个夹固单元,若干个夹固单元可活动地夹持基板,并且,承载模块本体具有开口。照明摄像模块设置在升降单元上。控制模块电耦接位移单元、升降单元及照明摄像模块。 | ||
搜索关键词: | 检测 装置 | ||
【主权项】:
一种基板检测装置,其特征在于,包含:装置本体,所述的装置本体的一面可活动地设有位移单元,所述的位移单元的一面设有一发光件,并且,所述的装置本体的所述的一面悬设升降单元;承载模块,悬设在所述的位移单元的一面,所述的承载模块相对所述的位移单元的一面活动地设有若干个夹固单元,所述的若干个夹固单元可活动地夹持基板,并且,所述的承载模块的本体具有开口;照明摄像模块,设置在所述的升降单元上;以及控制模块,电耦接所述的位移单元、所述的升降单元及所述的照明摄像模块,所述的控制模块接收并依据第一检测信号而驱使所述的升降单元朝第一方向进行位移,以使所述的照明摄像模块趋近于所述的基板,所述的控制模块控制所述的位移单元驱使所述的发光件通过所述的开口朝所述的基板投射第一光源,以及控制所述的位移单元以步进方式朝第二方向或第三方向进行位移,以带动所述的承载模块进行位移,并且,所述的控制模块控制所述的照明摄像模块获取所述的基板的若干个第一区域的影像,并产生若干个第一影像。
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