[实用新型]一种可变量程的激光三角法位移测量装置

摘要

本实用新型公开了一种可变量程的激光三角法位移测量装置。三角法激光位移传感器一般使用二次测量法，测量成本高，测量时间长。本实用新型包括准直激光发射器、底座、辅助测量聚焦透镜、辅助测量位置敏感元件、实际测量位置敏感元件和实际测量聚焦透镜；辅助测量位置敏感元件安插在辅助测量模块安装座上，辅助测量模块安装座底部与导轨构成滚动摩擦副；辅助测量聚焦透镜安装在辅助测量模块安装座上；实际测量聚焦透镜和辅助测量聚焦透镜的成像光轴均与准直激光发射器的激光束成一夹角。本实用新型集成了小量程精确测量功能和可变大量程尺寸测量功能，解决了三角法激光位移传感器量程与精度之间的矛盾，可实现复杂曲面快速、高精度非接触式测量。

主权项

一种可变量程的激光三角法位移测量装置，包括准直激光发射器、底座、辅助测量模块与实际测量模块，其特征在于：所述的辅助测量模块包括辅助测量聚焦透镜和辅助测量位置敏感元件；所述的实际测量模块包括实际测量位置敏感元件和实际测量聚焦透镜；所述的准直激光发射器固定在准直激光发射器安装座上，准直激光发射器安装座固定在底座上；辅助测量位置敏感元件安插在辅助测量模块安装座上，实际测量位置敏感元件安插在实际测量位置敏元件安装座上；实际测量位置敏元件安装座固定在底座上；辅助测量模块安装座底部与导轨构成滚动摩擦副；所述的导轨固定在底座上；所述的辅助测量聚焦透镜安装在辅助测量模块安装座上，实际测量聚焦透镜安装在实际测量聚焦透镜安装座上；实际测量聚焦透镜安装座固定在底座上；实际测量位置敏感元件的垂直中心轴线、辅助测量位置敏感元件的垂直中心轴线、准直激光发射器的激光束、实际测量聚焦透镜的成像光轴以及辅助测量聚焦透镜的成像光轴均在平行于底座的同一平面上；实际测量位置敏感元件的垂直中心轴线与实际测量聚焦透镜的成像光轴平行设置，辅助测量位置敏感元件的垂直中心轴线与辅助测量聚焦透镜的成像光轴平行设置；实际测量聚焦透镜和辅助测量聚焦透镜的成像光轴均与准直激光发射器的激光束成一夹角。