[实用新型]一种PECVD与PVD混合连续式柔性薄膜镀膜装置有效
| 申请号： | 201621134518.5 | 申请日： | 2016-10-19 |
| 公开（公告）号： | CN206502860U | 公开（公告）日： | 2017-09-19 |
| 发明（设计）人： | 周文彬;邓勋明;曹新民;张军委 | 申请（专利权）人： | 昆山迅立光电设备有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C16/54 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215300 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型目的提供一种PECVD与PVD混合连续式柔性薄膜镀膜装置，其特征在于多个处理腔室及真空送、收卷室；所述多个处理腔室包括多个PECVD处理腔室、多个PVD处理腔室及一个真空隔离腔室，腔室连接处分别设有可通过柔性基片的狭长缝隙；所述真空放卷室及真空收卷室内设有放卷轮轴及收卷轮轴机构；所述隔离腔室内设有气氛隔离机构。本实用新型克服现有技术不足，将PECVD及PVD整合在一条生产线上，大大节省生产线数量及长度，扩大产能，降低成本，利于推广应用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 pecvd pvd 混合 连续 柔性 薄膜 镀膜 装置 | ||
【主权项】：
一种PECVD与PVD混合连续式柔性薄膜镀膜装置，其特征在于送卷腔室(11）、收卷腔室（17）、PECVD处理腔室（13）、隔离腔室（14）、PVD处理腔室（15）、腔室狭长缝隙（16）所组成。
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