[实用新型]一种非接触式圆筒零件内外径尺寸及形位误差测量装置

摘要

本实用新型提供了一种非接触式圆筒零件内外径尺寸及形位误差测量装置，包括视觉测量系统、激光位移测量系统、转台系统、光栅位移测量系统、运动控制系统、测量平台；视觉测量系统采集测量区域图像数据；两只激光位移传感器分别设在两个连接支架端部并相对安装，分别测量内部和外部距离，支架另一端连接气浮滑块；气浮转台承载五维调整平台、零件夹具及被测零件；金属光栅尺安装在基座上，光栅读数头安装在气浮滑块上获取位移量，伺服电机安装在直线导轨上，直线导轨安装在基座上，直线导轨滑块连接带动气浮滑块；工控机完成气浮转台、伺服电机运动控制，通过图像数据、激光位移距离、转台角度、光栅位移数据运算，得到测量参数。

主权项

一种非接触式圆筒零件内外径尺寸及形位误差测量装置，其特征是：包括视觉测量系统、激光位移测量系统、转台系统、光栅位移测量系统、运动控制系统、测量平台；其中视觉测量系统包括镜头、数字相机（1）、（2）、（3）、照明光源，数字相机通过串口接入到工控机；激光位移测量系统包括激光位移传感器（4）、（5），激光位移传感器（4）、（5）设在支架端部并相对安装，通过支架连接气浮滑块（13），激光位移传感器（4）、（5）通过解码器接入到工控机；转台系统包括气浮转台（8）、五维调整平台（9）、零件夹具（10），气浮转台（8）通过控制器接入到工控机；光栅位移测量系统包括金属光栅尺（11）、光栅读数头（12）、伺服电机（16）、直线导轨（14），金属光栅尺（11）安装在基座（6）上，光栅读数头（12）安装在气浮滑块（13）上，伺服电机（16）安装在直线导轨（14）上，直线导轨（14）安装在基座（6）上，直线导轨（14）滑块连接气浮滑块（13），伺服电机控制卡通过电机驱动器连接控制伺服电机（16），伺服电机控制卡安装在工控机中，光栅读数头（12）通过解码器接入到工控机；运动控制系统包括气浮转台运动控制、伺服电机控制，由工控机完成；测量平台包括基座（6）、侧基座（7）、气浮导轨（15）。