[实用新型]一种用于扩散工序的源瓶有效
| 申请号： | 201621006820.2 | 申请日： | 2016-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN206070044U | 公开（公告）日： | 2017-04-05 |
| 发明（设计）人： | 程芳;缪乾;邱军辉;王雪亮;陆佳;罗茂盛;张俊鹏 | 申请（专利权）人： | 江阴鑫辉太阳能有限公司 |
| 主分类号： | C30B31/16 | 分类号： | C30B31/16 |
| 代理公司： | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙)11350 | 代理人： | 汤东凤 |
| 地址： | 214400 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于扩散工序的源瓶，包括玻璃瓶体、液位传感器、进气管和出气管，其中玻璃瓶体包括第一瓶体和第二瓶体，第一瓶体和第二瓶体内部均为中空，二者彼此连通，扩散源溶液设置在该中空区域内；第一瓶体上端设有两个开口，一个开口处设有进气管，另外一个开口设有出气管；进气管贯穿到玻璃瓶体的底部，出气管设置在玻璃瓶体的上端部；进气管与外围气体相连，出气管通入扩散炉中；液位传感器设置在第二瓶体的内部，用于检测扩散源溶液的液位高度。当液位低于预设高度时，光强探测器探测到的信号，发生变化，控制终端若检测到光强变化，便会控制警报器发出警报，从而有效避免源瓶源量过少造成的扩散方阻超标问题的产生。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 扩散 工序 | ||
【主权项】：
一种用于扩散工序的源瓶，其特征在于，包括：玻璃瓶体、液位传感器、进气管和出气管，其中所述玻璃瓶体包括第一瓶体和第二瓶体，所述第一瓶体和所述第二瓶体内部均为中空，并且二者彼此连通，扩散源溶液设置在所述该中空区域内；所述第一瓶体上端设有两个开口，其中一个开口处设有所述进气管，另外一个开口设有所述出气管；所述进气管贯穿到所述玻璃瓶体的底部，所述出气管设置在所述玻璃瓶体的上端部；所述进气管与外围气体相连，所述出气管通入扩散炉中；所述液位传感器设置在所述第二瓶体的内部，用于检测所述扩散源溶液的液位高度。
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