[实用新型]一种蓝宝石晶片表面冲洗机有效

专利信息
申请号: 201620946033.X 申请日: 2016-08-24
公开(公告)号: CN206104428U 公开(公告)日: 2017-04-19
发明(设计)人: 朱亮;曹建伟;孙明;傅林坚;于江忠;吴文泉;董炯杰 申请(专利权)人: 浙江晶瑞电子材料有限公司
主分类号: B08B3/02 分类号: B08B3/02;B08B13/00;F26B21/00
代理公司: 杭州中成专利事务所有限公司33212 代理人: 周世骏
地址: 312300 浙江省绍兴*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 实用新型涉及喷水式冲洗设备,旨在提供一种蓝宝石晶片表面冲洗机。该种蓝宝石晶片表面冲洗机包括机架、电控柜、水槽、翻转门、陶瓷盘旋转主轴组件、进水管、进气管、螺纹管、排水管、进水阀、进气阀、喷水喷气管、同步带、电机和可拆卸式防水护罩,能对贴在陶瓷盘表面的晶片进行冲洗。本实用新型对蓝宝石晶片表面采用自动喷水式冲洗方式,且在将晶片表面冲洗完成后,免去人工对陶瓷盘表面和晶片表面擦干的过程,既节约无尘纸,减少了晶片加工成本,又降低了人为对晶片表面划伤的可能性。
搜索关键词: 一种 蓝宝石 晶片 表面 冲洗
【主权项】:
一种蓝宝石晶片表面冲洗机,能对贴在陶瓷盘表面的晶片进行冲洗,其特征在于,所述蓝宝石晶片表面冲洗机包括机架、电控柜、水槽、翻转门、陶瓷盘旋转主轴组件、进水管、进气管、螺纹管、排水管、进水阀、进气阀、喷水喷气管、同步带、电机和可拆卸式防水护罩;所述水槽、陶瓷盘旋转主轴组件、电控柜分别固定在机架上;进水阀和进气阀固定在机架的底座上;进水管和进气管分别连接进水阀入口和进气阀入口,进水阀出口、进气阀出口、螺纹管的一端通过三通管接头连通;所述水槽底部焊接有管螺纹连接头和排水接头,喷水喷气管利用管螺纹连接头与螺纹管的另一端连接,排水接头和排水管连接;水槽的上方安装有可拆卸式防水护罩,且水槽的一侧通过铰链固定有翻转门,翻转门设有磁性锁,翻上翻转门时,翻转门通过磁性锁能与可拆卸式防水护罩固定,能防止水溅到水槽外部;所述陶瓷盘旋转主轴组件包括O型密封圈、角接触轴承、旋转轴、旋转固定底座、深沟球轴承、陶瓷盘托板、托板安装座、轴承压盖、轴承端盖,且陶瓷盘旋转主轴组件通过旋转固定底座安装在机架上;所述旋转固定底座安装在旋转轴的中部,且角接触轴承、深沟球轴承分别安装在旋转固定底座和旋转轴之间:角接触轴承安装在旋转固定底座的上部,轴承压盖安装在角接触轴承的上部,深沟球轴承安装在旋转固定底座的底部,轴承端盖安装在深沟球轴承的下部;所述托板安装座固定在旋转轴的上部,陶瓷盘托板安装在托板安装座上;陶瓷盘托板上用于放置贴有晶片的陶瓷盘,且陶瓷盘托板上设置有O型密封圈,用于防止陶瓷盘托板转动时,陶瓷盘托板和陶瓷盘发生相对运动;所述电机利用电机安装座固定在机架上,电机利用脚踏开关启动和关闭;电机通过同步带与旋转轴的底部连接,进而带动陶瓷盘托板旋转。
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