[实用新型]一种大范围原子力显微镜扫描定位装置有效
| 申请号： | 201620814992.6 | 申请日： | 2016-07-28 |
| 公开（公告）号： | CN205898842U | 公开（公告）日： | 2017-01-18 |
| 发明（设计）人： | 谢航杰;许素安;金玮;黄艳岩;富雅琼 | 申请（专利权）人： | 中国计量大学 |
| 主分类号： | G01Q60/24 | 分类号： | G01Q60/24 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司33200 | 代理人： | 忻明年 |
| 地址： | 310018 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种大范围原子力显微镜扫描定位装置。本实用新型中AFM自带的Z向扫描器完成Z轴方向控制运动并实现原子力反馈；立方镜载物台的位移测量采用X轴外差激光干涉仪和Y轴外差激光干涉仪；XY平面扫描器的运动与AFM的同步采集采用同步脉冲触发器，同步扫描触发器的脉冲信号来自XY平面扫描器的编码器和高频相移电路；XY平面扫描器每次动作时，同步脉冲触发器通过计算机向AFM的数据采集卡发送中断脉冲，用于采集Z轴位置信号。本实用新型构建的AFM扫描定位系统X、Y向的扫描与AFM Z向的反馈控制分离开来，避免了AFM扫描过程产生的XY平面与Z向的非线性交叉耦合误差。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 范围 原子 显微镜 扫描 定位 装置 | ||
【主权项】：
一种大范围原子力显微镜扫描定位装置，其特征在于该扫描定位装置由XY平面扫描器、立方镜载物台，X轴外差激光干涉仪、Y轴外差激光干涉仪、AFM针尖、AFM、高频相移电路、同步脉冲触发控制器、计算机组成；被观测样品置于立方镜载物台的中心，AFM自带的Z向扫描器完成Z轴方向控制运动并实现原子力反馈；立方镜载物台的位移测量采用X轴外差激光干涉仪和Y轴外差激光干涉仪；XY平面扫描器的运动与AFM的同步采集采用同步脉冲触发器，同步扫描触发器的脉冲信号来自XY平面扫描器的编码器和高频相移电路；XY平面扫描器每次动作时，同步脉冲触发器通过计算机向AFM的数据采集卡发送中断脉冲，用于采集Z轴位置信号。
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