[实用新型]烤箱加热棒监控装置有效

专利信息
申请号: 201620788273.1 申请日: 2016-07-25
公开(公告)号: CN205847619U 公开(公告)日: 2016-12-28
发明(设计)人: 张立峰 申请(专利权)人: 宇骏(潍坊)新能源科技有限公司
主分类号: H05B3/02 分类号: H05B3/02
代理公司: 潍坊正信专利事务所37216 代理人: 张曰俊
地址: 261061 山东省潍坊*** 国省代码: 山东;37
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摘要: 实用新型公开了一种烤箱加热棒监控装置,属于硅片生产设备技术领域,包括电源,所述电源与所述烤箱内并联设置的多根加热棒电连接,每根所述加热棒分别串联有一个电流表,在所述烤箱加热棒监控装置的总线路上设置有控制开关。本实用新型提供的烤箱加热棒监控装置结构简单,操作方便,能够及时且具体地监测到烤箱中的问题加热棒,方便进行针对性的检修,提高工作效率。
搜索关键词: 烤箱 加热 监控 装置
【主权项】:
烤箱加热棒监控装置,包括电源,所述电源与所述烤箱内并联设置的多根加热棒电连接;其特征在于:每根所述加热棒分别串联有一个电流表,在所述烤箱加热棒监控装置的总线路上设置有控制开关。
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