[实用新型]一种晶圆烘干机

摘要

本实用新型涉及晶圆清洗烘干技术领域，具体公开了一种晶圆烘干机，包括机架和设于机架上的烘干室，所述烘干室的上方设有热风送风装置，用于向烘干室内输送热风，所述机架上还设有动力传送带，所述动力传送带贯穿烘干室，用于传送承载晶圆的花篮穿过烘干室，还包括冷风送风装置，固定在所述烘干室的出口上部外侧，其送风口冲向所述烘干室出口外侧的动力传送带，所述冷风送风装置的送风口外侧设有导流罩，固定于所述冷风送风装置上，所述导流罩上设有气体导流孔。本实用新型能够使烘干出料后的硅片及花篮温度降低，不会烫伤操作人员，方便操作人员取片，提高效率。

主权项

一种晶圆烘干机，包括机架（1）和设于机架（1）上的烘干室（2），所述烘干室（2）的上方设有热风送风装置（6），用于向烘干室（2）内输送热风，所述机架（1）上还设有动力传送带（3），所述动力传送带（3）贯穿烘干室（2），用于传送承载晶圆的花篮（4）穿过烘干室（2），其特征在于：还包括冷风送风装置（5），固定在所述烘干室（2）的出口上部外侧，其送风口冲向所述烘干室（2）出口外侧的动力传送带（3），所述冷风送风装置（5）的送风口外侧设有导流罩（7），固定于所述冷风送风装置（5）上，所述导流罩（7）上设有气体导流孔（8）。