[实用新型]一种用于光刻胶的自动显影设备有效
| 申请号： | 201620733545.8 | 申请日： | 2016-07-12 |
| 公开（公告）号： | CN205787596U | 公开（公告）日： | 2016-12-07 |
| 发明（设计）人： | 向容;梁永 | 申请（专利权）人： | 潍坊星泰克微电子材料有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/30 | 分类号： | G03F7/30 |
| 代理公司： | 常州佰业腾飞专利代理事务所(普通合伙)32231 | 代理人： | 翁斌 |
| 地址： | 261205 山东省潍坊市*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及光刻胶技术领域，尤其涉及一种用于光刻胶的自动显影设备，包括开关及晃动速度旋钮、浅盘架、发动机、旋转盘、活塞头和水平槽，开关及晃动速度旋钮与发动机相连接，发动机带动旋转盘旋转，旋转盘与活塞头相连接，旋转盘通过旋转带动活塞头在水平槽内滑动，浅盘架固定在活塞头的上部。本实用新型为实验室等处理量小的场合提供了自动显影设备，解决了人工手动显影因摇晃不均匀不一致导致显影结果重现性差不稳定等问题，以机械来代替手动摇晃过程，使每一片光刻胶衬底在相同条件下显影，将人为的误差影响因素降至最低，提高了显影结果的稳定性和重现性，操作简单，同时解放了实验人员的劳力，提高了研发效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 光刻 自动 显影 设备 | ||
【主权项】：
一种用于光刻胶的自动显影设备，其特征在于：包括开关及晃动速度旋钮(1)、浅盘架(2)、发动机(3)、旋转盘(4)、活塞头(5)和水平槽(6)，所述的开关及晃动速度旋钮(1)与发动机(3)相连接，所述的发动机(3)带动旋转盘(4)旋转，所述的旋转盘(4)与活塞头(5)相连接，所述的旋转盘(4)通过旋转带动活塞头(5)在水平槽(6)内滑动，所述的浅盘架(2)固定在活塞头(5)的上部。
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