[实用新型]一种晶圆真空吸取器有效
| 申请号： | 201620723174.5 | 申请日： | 2016-07-07 |
| 公开（公告）号： | CN205863157U | 公开（公告）日： | 2017-01-04 |
| 发明（设计）人： | 申请（专利权）人： | ||
| 主分类号： | H01L21/683 | 分类号： | H01L21/683 |
| 代理公司： | 无锡互维知识产权代理有限公司32236 | 代理人： | 王爱伟 |
| 地址： | 江苏省无锡蠡 园开发*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种晶圆真空吸取器，其包括安装部及与所述安装部连接的吸取部，所述安装部上设有若干个安装孔，所述吸取部包括对称设置的第一吸取片及第二吸取片，所述第一吸取片的固定端与所述第二吸取片的固定端之间保留有较小的第一吸取距离，所述第一吸取片的固定端与所述第二吸取片的固定端的相应位置上分别开设有若干个真空孔；所述第一吸取片的自由端与所述第二吸取片的自由端之间保留有较大的第二吸取距离，所述第一吸取片的自由端与所述第二吸取片的自由端的相应位置上分别开设有若干个真空孔。本实用新型可以完成至少两种尺寸的晶圆的真空吸取，其适用场合得到有效拓展。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空 吸取 | ||
【主权项】：
一种晶圆真空吸取器，其特征在于：其包括安装部及与所述安装部连接的吸取部，所述安装部上设有若干个安装孔，所述吸取部包括对称设置的第一吸取片及第二吸取片，其特征在于：所述第一吸取片的固定端与所述第二吸取片的固定端之间保留有较小的第一吸取距离，所述第一吸取片的固定端与所述第二吸取片的固定端的相应位置上分别开设有若干个真空孔；所述第一吸取片的自由端与所述第二吸取片的自由端之间保留有较大的第二吸取距离，所述第一吸取片的自由端与所述第二吸取片的自由端的相应位置上分别开设有若干个真空孔。
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