[实用新型]单晶炉有效
| 申请号： | 201620720001.8 | 申请日： | 2016-07-11 |
| 公开（公告）号： | CN206799790U | 公开（公告）日： | 2017-12-26 |
| 发明（设计）人： | 陈五奎;刘强;付红霞;黄振华;冯加保 | 申请（专利权）人： | 青海拓日新能源科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 成都点睛专利代理事务所(普通合伙)51232 | 代理人： | 李玉兴 |
| 地址： | 810007 青海省*** | 国省代码： | 青海;63 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种能够提高生产效率的单晶炉。该单晶炉包括炉体，所述炉体内部设有石墨坩埚，所述石墨坩埚底部通过坩埚轴与炉体底部相固定，所述石墨坩埚内设有石英坩埚，石墨坩埚外侧设置有侧部加热器，所述炉体侧壁上设置有抽气孔，所述石墨坩埚的底部设置有底部加热器，所述底部加热器与侧部加热器为一体式结构。通过在石墨坩埚的底部设置底部加热器，可以加速多晶硅原料的融化，缩短原料的融化时间，可以大大提高生产效率，同时，利用底部加热器可以对石墨坩埚底部进行温度补偿，避免石墨坩埚底部温度较低造成晶棒生长速度缓慢，为了便于安装和拆卸，所述底部加热器与侧部加热器为一体式结构。适合在单晶生产设备领域推广应用。 | ||
| 搜索关键词： | 单晶炉 | ||
【主权项】：
单晶炉，包括炉体(1)，所述炉体(1)内部设有石墨坩埚(2)，所述石墨坩埚(2)底部通过坩埚轴(3)与炉体(1)底部相固定，所述石墨坩埚(2)内设有石英坩埚(4)，石墨坩埚(2)外侧设置有侧部加热器(5)，所述炉体(1)侧壁上设置有抽气孔(6)，还包括氩气管(7)与氩气源(15)，所述氩气源(15)与氩气管(7)通过进气管(14)相连，所述氩气管(7)的末端穿过炉体(1)伸入到石英坩埚(4)内，其特征在于：所述石墨坩埚(2)的底部设置有底部加热器(11)，所述底部加热器(11)与侧部加热器(5)为一体式结构。
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