[实用新型]一种氮氧化物传感器片芯

摘要

本实用新型涉及一种氮氧化物传感器片芯，其特征在于：第一基片、第二基片、第三基片、第四基片、第五基片、第六基片从上到下依次堆叠，第四基片比第三基片和第五基片短，第四基片后端的空当即为参比通道；主泵外电极布置在第一基片的顶面，第二基片前端从前至后通过第一扩散障碍层、第二扩散障碍层、第三扩散障碍层、第四扩散障碍层将第二基片前端分隔出第一腔室、第二腔室、第三腔室、第四腔室、第五腔室，第四扩散障碍层顶部留有空气狭缝；其具有较高准确性，高灵敏度的适用于尾气中氮氧化物含量检测的传感器片芯。

主权项

一种氮氧化物传感器片芯，由第一基片、第二基片、第三基片、第四基片、第五基片、第六基片组成，其特征在于：第一基片、第二基片、第三基片、第四基片、第五基片、第六基片从上到下依次堆叠，第四基片比第三基片和第五基片短，第四基片后端的空当即为参比通道；主泵外电极布置在第一基片的顶面，第二基片前端从前至后通过第一扩散障碍层、第二扩散障碍层、第三扩散障碍层、第四扩散障碍层将第二基片前端分隔出第一腔室、第二腔室、第三腔室、第四腔室、第五腔室，第四扩散障碍层顶部留有空气狭缝；主泵内电极A连接在第三腔室顶部的第一基片上，主泵内电极B 连接在第三腔室底部的第三基片上，辅泵内电极A连接在第四腔室顶部的第一基片上，辅泵内电极B连接在第四腔室底部的第三基片上，检测电极连接在第五腔室底部的第三基片,参比电极连接在第三基片的底面，参比电极具体位于第四基片的后方的参比通道位置，加热电极夹在第五基片和第六基片之间。