[实用新型]一种磁控溅射旋转磁密封端头

摘要

本实用新型公开一种磁控溅射旋转磁密封端头，包括固定座、隔离罩、内冷却水循环通道、内转子、接电柱、外转子、进水口、出水口、及固定孔；固定座内设第一凹槽；隔离罩纵剖面呈“山”字构型，分外盖、中柱、及二者之间的第二凹槽，外盖封盖在第一凹槽上，外转子设于第一凹槽内且包裹在外盖外部，接电柱设在外盖的顶端；内转子与第二凹槽内壁紧密贴合，内冷却水循环通道位于中柱外侧与内转子之间。本实用新型旋转阴极端头，真空、大气之间采用磁力耦合密封，把动密封改为了静密封，解决了真空度保持差的问题，这种密封方式免维护，考虑到其他部件的寿命，可以确保每年维护一次，提高了端头的使用可靠性。

主权项

一种磁控溅射旋转磁密封端头，其特征在于，包括固定座、隔离罩、内冷却水循环通道、内转子、接电柱、外转子、进水口、出水口、及固定孔；固定座内设第一凹槽；隔离罩纵剖面呈“山”字构型，分外盖、中柱、及二者之间的第二凹槽，外盖封盖在第一凹槽上，外转子设于第一凹槽内且包裹在外盖外部，接电柱设在外盖的顶端；内转子与第二凹槽内壁紧密贴合，内冷却水循环通道位于中柱外侧与内转子之间，进水口、出水口、固定孔均设于固定座侧壁，进水口、出水口分别与内冷却水循环通道连通；固定座侧壁还设有一水平弧形孔，用以露出外转子的一部分弧长。