[实用新型]一种超声波光刻胶喷涂装置有效
| 申请号： | 201620672957.5 | 申请日： | 2016-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN206096749U | 公开（公告）日： | 2017-04-12 |
| 发明（设计）人： | 黄大勇 | 申请（专利权）人： | 湖北泰晶电子科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 441300 *** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 一种超声波光刻胶喷涂装置，包括超声波喷头以及位于超声波喷头下方的工作台，其特征在于所述超声波喷头固定在X轴移动机械臂上，所述X轴移动机械臂上还固定有喷头偏转电机，所述喷头偏转电机的传动端与超声波喷头相连接，所述工作台的两端分别滑动连接在Y轴机械臂和Y轴滑轨上，所述工作台上安装有加热载板，所述加热载板的底部设置有发热管加热线。本实用新型可以使晶片的上下面和侧面均匀喷涂光刻胶，上下面的光刻胶厚度误差小于5%，侧面的光刻胶厚度大于10微米，加热载板可使光刻胶短时间内固化，减少流动性，保证侧臂可以多层覆盖，使晶片侧面覆盖均匀。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 超声波 光刻 喷涂 装置 | ||
【主权项】：
一种超声波光刻胶喷涂装置，包括超声波喷头（1）以及位于超声波喷头（1）下方的工作台（2），其特征在于：所述超声波喷头（1）固定在X轴移动机械臂（3）上，所述X轴移动机械臂（3）上还固定有喷头偏转电机（4），所述喷头偏转电机（4）的传动端与超声波喷头（1）相连接，所述工作台（2）的两端分别滑动连接在Y轴机械臂（5）和Y轴滑轨（6）上，所述工作台（2）上安装有加热载板（7），所述加热载板（7）的底部设置有发热管加热线（8）。
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