[实用新型]基板清洗装置有效
| 申请号： | 201620668497.9 | 申请日： | 2016-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN205732094U | 公开（公告）日： | 2016-11-30 |
| 发明（设计）人： | 吴凡 | 申请（专利权）人： | 昆山国显光电有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;B08B5/02 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 智云 |
| 地址： | 215300 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种基板清洗装置，包括：混合装置以及设置在所述混合装置顶部并与所述混合装置相连通的供给部，所述混合装置的底部设置有线性开口；混合装置中的混合液可以通过线性开口喷射至基板上，有效避免了现有技术中个别的喷嘴易堵塞的现象，避免了由于个别喷嘴堵塞产生的清洗漏点，提高了清洗的效率；并且无需频繁的对线性开口进行维护保养，在一定程度上提高了设备的利用率，并节约了人力成本。 | ||
| 搜索关键词： | 清洗 装置 | ||
【主权项】：
一种基板清洗装置，所述基板清洗装置用于清洗放置于所述基板清洗装置下方的基板，其特征在于，包括：混合装置以及设置在所述混合装置顶部并与所述混合装置相连通的供给部，所述混合装置的底部设置有线性开口。
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