[实用新型]多辊单室双面卷绕镀膜设备有效

专利信息
申请号: 201620665811.8 申请日: 2016-06-27
公开(公告)号: CN205710901U 公开(公告)日: 2016-11-23
发明(设计)人: 朱文廓;朱刚劲;朱刚毅 申请(专利权)人: 广东腾胜真空技术工程有限公司
主分类号: C23C14/56 分类号: C23C14/56;C23C14/35
代理公司: 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 代理人: 谢静娜;裘晖
地址: 526060 广*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 实用新型公开一种多辊单室双面卷绕镀膜设备,包括真空室、卷绕机构和镀膜机构,真空室为横置的圆筒状或方形箱状结构,真空室内部的空间包括卷绕区和镀膜区,且卷绕区和镀膜区之间通过水冷隔板隔离,水冷隔板上设有供卷材经过用的通孔,卷绕机构位于卷绕区内,镀膜机构位于镀膜区内。其方法是放卷辊放出的卷材穿过水冷隔板后进入镀膜区,在镀膜区内经过多组磁控靶逐渐进行双面镀膜,最后穿过水冷隔板进入卷绕区中由收卷辊进行收集。本实用新型通过在单一的真空室中设置卷绕机构和镀膜机构,并通过设置多组磁控靶和水冷辊实现卷材的双面镀膜,简化柔性基材双面镀膜的工艺,有效提高镀膜效率,降低产品成本,提高其市场竞争力。
搜索关键词: 多辊单室 双面 卷绕 镀膜 设备
【主权项】:
多辊单室双面卷绕镀膜设备,其特征在于,包括真空室、卷绕机构和镀膜机构,真空室为横置的圆筒状或方形箱状结构,真空室内部的空间包括卷绕区和镀膜区,且卷绕区和镀膜区之间通过水冷隔板隔离,水冷隔板上设有供卷材经过用的通孔,卷绕机构位于卷绕区内,镀膜机构位于镀膜区内。
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