[实用新型]多辊单室双面卷绕镀膜设备有效
申请号: | 201620665811.8 | 申请日: | 2016-06-27 |
公开(公告)号: | CN205710901U | 公开(公告)日: | 2016-11-23 |
发明(设计)人: | 朱文廓;朱刚劲;朱刚毅 | 申请(专利权)人: | 广东腾胜真空技术工程有限公司 |
主分类号: | C23C14/56 | 分类号: | C23C14/56;C23C14/35 |
代理公司: | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人: | 谢静娜;裘晖 |
地址: | 526060 广*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型公开一种多辊单室双面卷绕镀膜设备,包括真空室、卷绕机构和镀膜机构,真空室为横置的圆筒状或方形箱状结构,真空室内部的空间包括卷绕区和镀膜区,且卷绕区和镀膜区之间通过水冷隔板隔离,水冷隔板上设有供卷材经过用的通孔,卷绕机构位于卷绕区内,镀膜机构位于镀膜区内。其方法是放卷辊放出的卷材穿过水冷隔板后进入镀膜区,在镀膜区内经过多组磁控靶逐渐进行双面镀膜,最后穿过水冷隔板进入卷绕区中由收卷辊进行收集。本实用新型通过在单一的真空室中设置卷绕机构和镀膜机构,并通过设置多组磁控靶和水冷辊实现卷材的双面镀膜,简化柔性基材双面镀膜的工艺,有效提高镀膜效率,降低产品成本,提高其市场竞争力。 | ||
搜索关键词: | 多辊单室 双面 卷绕 镀膜 设备 | ||
【主权项】:
多辊单室双面卷绕镀膜设备,其特征在于,包括真空室、卷绕机构和镀膜机构,真空室为横置的圆筒状或方形箱状结构,真空室内部的空间包括卷绕区和镀膜区,且卷绕区和镀膜区之间通过水冷隔板隔离,水冷隔板上设有供卷材经过用的通孔,卷绕机构位于卷绕区内,镀膜机构位于镀膜区内。
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