[实用新型]磁流体密封装置有效
| 申请号： | 201620647355.4 | 申请日： | 2016-06-22 |
| 公开（公告）号： | CN205678133U | 公开（公告）日： | 2016-11-09 |
| 发明（设计）人： | 王刚 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（天津）有限公司;中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | F16J15/43 | 分类号： | F16J15/43 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 300385 天津市西青*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种磁流体密封装置，所述磁流体密封装置包括传动轴、驱动器、密封罩以及用于控制所述密封罩内压力的压力控制部件，所述传动轴的一端与所述密封设备连接，所述传动轴的另一端与所述驱动器连接，所述传动轴的另一端和所述驱动器共同处于所述密封罩中，所述压力控制部件连接所述密封罩。在磁流体密封装置用于真空密封时，利用压力控制部件控制密封罩内的压力，以使磁流体两侧气压差为零，从而杜绝泄漏事故，对密封设备中环境的污染，提高了产品良率。 | ||
| 搜索关键词： | 流体 密封 装置 | ||
【主权项】：
一种磁流体密封装置，适用于真空密封一密封设备，其特征在于，包括：传动轴、驱动器、密封罩以及用于控制所述密封罩内压力的压力控制部件，所述传动轴的一端与所述密封设备连接，所述传动轴的另一端与所述驱动器连接，所述传动轴的另一端和所述驱动器共同处于所述密封罩中，所述压力控制部件连接所述密封罩。
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