[实用新型]烧结炉网带有效

专利信息
申请号: 201620643288.9 申请日: 2016-06-24
公开(公告)号: CN205784543U 公开(公告)日: 2016-12-07
发明(设计)人: 王少华;吴佳俊;吴俊;邹海军 申请(专利权)人: 常州亿晶光电科技有限公司
主分类号: F27B9/30 分类号: F27B9/30;F27B9/38;F27B9/14;F27D3/00
代理公司: 常州市英诺创信专利代理事务所(普通合伙)32258 代理人: 郑云
地址: 213213 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型涉及一种烧结炉网带,包括网带本体,网带本体在宽度方向从左向右依次分为左边缘区、左连接区、中心承载区、右连接区和右边缘区,左边缘区和右边缘区对称分布在中心承载区的两侧,左连接区和右连接区也对称分布在中心承载区的两侧,左连接区和右连接区的网丝密度小于中心承载区及左边缘区和右边缘区的网丝密度。本实用新型减小了网带左右连接区的网丝密度,在保证了网带行走时对硅片的支撑强度的情况下,又减少了网带对硅片表面的遮挡,提高了烧结质量,同时减少了烧结炉内的温度损失,提高了工艺温度的稳定性,降低了烧结炉加热电耗,降低了网带的制造成本。
搜索关键词: 烧结炉
【主权项】:
一种烧结炉网带,其特征在于:包括网带本体,所述网带本体在宽度方向从左向右依次分为左边缘区(1)、左连接区(2)、中心承载区(3)、右连接区(4)和右边缘区(5),所述左边缘区(1)和右边缘区(5)对称分布在中心承载区(3)的两侧,所述左连接区(2)和右连接区(4)也对称分布在中心承载区(3)的两侧,所述左连接区(2)和右连接区(4)的网丝(6)密度小于中心承载区(3)及左边缘区(1)和右边缘区(5)的网丝(6)密度。
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