[实用新型]陶瓷静电卡盘装置有效
| 申请号： | 201620610232.3 | 申请日： | 2016-06-20 |
| 公开（公告）号： | CN205900519U | 公开（公告）日： | 2017-01-18 |
| 发明（设计）人： | 徐登峰;朱煜;杨鹏远;许岩;成荣;唐娜娜;侯占杰;雷忠兴;王建冲;韩玮琦 | 申请（专利权）人： | 北京华卓精科科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/687 | 分类号： | H01L21/687 |
| 代理公司： | 北京恩赫律师事务所11469 | 代理人： | 赵文成 |
| 地址： | 100084 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种陶瓷静电卡盘装置，属于半导体晶片加工技术领域，所述陶瓷静电卡盘装置包括介电层、电极层、绝缘层，在所述介电层靠近所述电极层的表面设置有第一金属化层，在所述第一金属化层靠近所述电极层的表面设置有第一镀镍层，在所述绝缘层靠近所述电极层的表面设置有第二金属化层，在所述第二金属化层靠近所述电极层的表面设置有第二镀镍层。本实用新型的静电卡盘装置气密性高，静电吸附力均匀，方便加工。 | ||
| 搜索关键词： | 陶瓷 静电 卡盘 装置 | ||
【主权项】：
一种陶瓷静电卡盘装置，其特征在于，包括介电层、电极层、绝缘层，在所述介电层靠近所述电极层的表面设置有第一金属化层，在所述第一金属化层靠近所述电极层的表面设置有第一镀镍层，在所述绝缘层靠近所述电极层的表面设置有第二金属化层，在所述第二金属化层靠近所述电极层的表面设置有第二镀镍层。
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