[实用新型]一种潜入式浸泡喷淋显影装置有效
申请号: | 201620580648.5 | 申请日: | 2016-06-14 |
公开(公告)号: | CN205750278U | 公开(公告)日: | 2016-11-30 |
发明(设计)人: | 巍代圣;李学义 | 申请(专利权)人: | 深圳市百诣良科技发展有限公司 |
主分类号: | G03F7/30 | 分类号: | G03F7/30 |
代理公司: | 深圳市精英专利事务所 44242 | 代理人: | 任哲夫 |
地址: | 518000 广东省深*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种潜入式浸泡喷淋显影装置,其包括显影缸体和升降机构,所述升降机构设置于所述显影缸体外部,所述升降机构连接有运输滚轮和上喷淋管,所述上喷淋管设置于所述运输滚轮上方,所述升降机构带动所述运输滚轮和上喷淋管在所述显影缸体内上下运动。在线路板显影工序中,将线路板随运输滚轮和上喷淋管在升降机构的作用下潜入显影液中,在显影液浸泡的同时摇摆喷淋,形成先运输、后潜入喷淋的喷淋方式,在显影液中,喷淋管的喷淋压力较小,避免了显影液直接冲刷对线路板表面的感光膜造成过大冲击,适于进行线宽/线隙≤3mil/3mil的超精细线路显影。 | ||
搜索关键词: | 一种 潜入 浸泡 喷淋 显影 装置 | ||
【主权项】:
一种潜入式浸泡喷淋显影装置,其特征在于,包括显影缸体、升降机构和下喷淋管,所述升降机构连接有运输滚轮和上喷淋管,所述升降机构带动所述运输滚轮和上喷淋管在所述显影缸体内上下运动,所述上喷淋管设置于所述运输滚轮上方,所述下喷淋管设置于所述显影缸体内底部。
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