[实用新型]一种真空磁控镀膜机

摘要

本实用新型涉及真空镀膜技术领域，特别涉及一种真空磁控镀膜机，所述磁控溅射靶设置在真空镀膜室的内侧壁上；所述抽真空管道与真空镀膜室相连通；上滚动轴承和下滚动轴承分别固定在真空镀膜室的内壁上表面和内壁下表面；主动齿轮与蜗杆相啮合；安装杆的上端与从动齿轮的旋转中心相固定连接；固定轴承的外圈固定在定位板上。在使用本实用新型时，安装杆绕轴心转动，被镀膜的工件安装在安装杆上，从磁控溅射靶逸出的原子团或离子，经过电场和磁场的作用下，持续打在正在旋转的工件上，使工件表面得到一层均匀的镀膜，有效地提高和控制产品的质量，极大限度地提高生产效率。本实用新型具有结构简单，设置合理，制作成本低等优点。

主权项

一种真空磁控镀膜机，它包括有真空镀膜室(3)、磁控溅射靶(4)和抽真空系统(5)；所述磁控溅射靶(4)设置在真空镀膜室(3)的内侧壁上；所述抽真空系统(5)设置有抽真空管道(5‑1)；所述抽真空管道(5‑1)与真空镀膜室(3)相连通；所述真空镀膜室(3)的外侧壁设置有电机固定架(3‑1)；所述电机固定架(3‑1)上设置有电机(1)；所述电机(1)的转轴端连设有齿轮箱(2)；所述齿轮箱(2)的外壳固定在电机固定架(3‑1)上；其特征在于：它还包括有蜗杆(6)、定位板(10)和旋转安装杆机构；所述定位板(10)与真空镀膜室(3)的内侧壁相固定连接；所述真空镀膜室(3)的内壁底部设置有蜗杆固定架(3‑2)；所述蜗杆(6)一端穿过蜗杆固定架(3‑2)；蜗杆(6)另一端伸出到真空镀膜室(3)的外部后与齿轮箱(2)相连接；所述旋转安装杆机构的数量至少为两个；所述旋转安装杆机构由主动齿轮(7)、转轴(8)、上滚动轴承(11)、下滚动轴承(12)和齿杆组件组成；所述上滚动轴承(11)和下滚动轴承(12)分别固定在真空镀膜室(3)的内壁上表面和内壁下表面；所述转轴(8)的上端插入上滚动轴承(11)的内圈中；转轴(8)的下端插入下滚动轴承(12)的内圈中；所述主动齿轮(7)设置在转轴(8)的轴身上；所述主动齿轮(7)与蜗杆(6)相啮合；所述齿杆组件的数量为两个；所述齿杆组件对称设置在主动齿轮(7)的两侧；所述齿杆组件由安装杆(9)、从动齿轮(13)和固定轴承(14)组成；所述安装杆(9)的上端与从动齿轮(13)的旋转中心相固定连接；所述从动齿轮(13)与主动齿轮(7)相啮合；所述安装杆(9)的杆身与固定轴承(14)的内圈相固定连接；所述固定轴承(14)的外圈固定在定位板(10)上。