[实用新型]基于分光镜的双光路三维散斑干涉系统

摘要

本实用新型公开了一种基于分光镜的双光路三维散斑干涉系统，该系统包括激光器、第一分光镜、第二分光镜、第三分光镜、第四分光镜、第五分光镜、第一全反镜、第二全反镜、第三全反镜、第四全反镜、第一扩束镜、第二扩束镜、放大系统以及CCD摄像机。本实用新型的优点是：能够给出激光加工过程中的瞬态三维位移，并且其时间和空间的分辨能力会随着高速摄影系统和长距离显微镜的进一步发展而获得提高；将电子散斑干涉和数字散斑相关有机结合并利用了它们各自的优势，方便测量，为研究激光加工所需的微尺度瞬态三维热变形提供了有效、实用的实验手段。

主权项

一种基于分光镜的双光路三维散斑干涉系统，包括激光器、第一分光镜、第二分光镜、第三分光镜、第四分光镜、第五分光镜、第一全反镜、第二全反镜、第三全反镜、第四全反镜、第一扩束镜、第二扩束镜、放大系统以及CCD摄像机，其特征在于：所述激光器发出的光路主线传递到第一分光镜后，分出一部分到第一全反镜，另一部分到第二分光镜；从第二分光镜分出的光路，一部分到第二全反镜，另一部分到第三分光镜；从第三分光镜的光路全部到第四分光镜；第四分光镜的光路一部分经第二分光镜到第二全反镜，另一部分到第三全反镜；第二全反镜的光经第一扩束镜到被测物；第三全反镜的光经第二扩束镜到被测物，经第一、第二扩束镜的光作用在被测物后返回到第五分光镜并通过第五分光镜到放大系统，最终由CCD摄像机记录下来，完成面内位移的测量；从第一全反镜反出的光到第四全反镜，再由第四全反镜反射到第五分光镜，从第五分光镜分出的一路光到被测物，与经第一、第二扩束镜的光作用在被测物后返回第五分光镜并通过第五分光镜到放大系统，最终由CCD摄像机记录下来，完成离面位移的测量。