[实用新型]毛细管放电Z箍缩极紫外光刻光源光路中杂质过滤装置有效
| 申请号： | 201620569387.7 | 申请日： | 2016-06-13 |
| 公开（公告）号： | CN205673292U | 公开（公告）日： | 2016-11-09 |
| 发明（设计）人： | 赵永蓬;徐强;王骐 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | B08B5/02 | 分类号： | B08B5/02 |
| 代理公司： | 哈尔滨市松花江专利商标事务所 23109 | 代理人： | 胡树发 |
| 地址： | 150001 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 毛细管放电Z箍缩极紫外光刻光源光路中杂质过滤装置，涉及杂质过滤技术，为了满足极紫外光刻光源光路中杂质过滤的需求。金属箔片冷阱包括多层金属箔片，每层金属箔片均为圆锥面，多层金属箔片与极紫外光刻光源同轴且依次嵌套，空心支撑管位于金属箔片冷阱的轴线上，支撑条的一端固定在空心支撑管的一端，空心支撑管的另一端固定在收集镜支架上，多根支撑条以空心支撑管为中心，呈放射状均匀分布，金属箔片的一端固定在支撑条的侧部，喷气装置位于毛细管与金属箔片冷阱之间，喷气装置的喷气方向与极紫外光刻光源的中心轴垂直。本实用新型能清除光路中的杂质，保证了光学收集镜不受污染，适用于过滤紫外光刻光源光路中的杂质。 | ||
| 搜索关键词： | 毛细管 放电 箍缩极 紫外 光刻 光源 光路中 杂质 过滤 装置 | ||
【主权项】：
毛细管放电Z箍缩极紫外光刻光源光路中杂质过滤装置，其特征在于，包括喷气装置(1)、金属箔片冷阱(2)、多根支撑条(3)和空心支撑管(4)；金属箔片冷阱(2)包括多层金属箔片，每层金属箔片均为圆锥面，多层金属箔片与极紫外光刻光源同轴且依次嵌套，多层金属箔片的小口径端的开口朝向毛细管(5)，空心支撑管(4)位于金属箔片冷阱(2)的轴线上，支撑条(3)的一端固定在空心支撑管(4)的一端，空心支撑管(4)的另一端固定在收集镜支架(7)上，多根支撑条(3)以空心支撑管(4)为中心，呈放射状均匀分布，金属箔片的一端固定在支撑条(3)的侧部，喷气装置(1)位于毛细管(5)与金属箔片冷阱(2)之间，喷气装置(1)的喷气方向与极紫外光刻光源的中心轴垂直。
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