[实用新型]一种高纯硅烷灌装设备有效
| 申请号： | 201620551339.5 | 申请日： | 2016-06-09 |
| 公开（公告）号： | CN205690065U | 公开（公告）日： | 2016-11-16 |
| 发明（设计）人： | 戴文良 | 申请（专利权）人： | 戴文良 |
| 主分类号： | F17C5/06 | 分类号： | F17C5/06;F17C13/04;F17C13/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 362000 福建省泉*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种高纯硅烷灌装设备，包括灌装座体，所述灌装座体底部设置有配量瓶传送机构；所述灌装座体于配量瓶传送机构上方设置有多个升降机构；所述升降机构顶部安装有六通电磁阀；所述六通电磁阀其四端通过随动管分别安装一长嘴灌装阀；所述长嘴灌装阀固定于升降机构上；所述六通电磁阀其剩余两端分别接进气管和出气管；所述进气管连接到纯化装置输出端；所述出气管连接到纯化装置输入端；所述进气管上依次设置有第一进气阀、计量腔和第二进气阀。本实用新型的高纯硅烷灌装设备，其在灌装前及单个长嘴灌装阀完成灌装后，能够进行抽真空处理，灌装前通过计量腔完成灌装前定量检测，保证灌装精度，灌装时通过多个长嘴灌装阀循环灌装。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高纯 硅烷 灌装 设备 | ||
【主权项】：
一种高纯硅烷灌装设备，其特征在于：包括灌装座体，所述灌装座体底部设置有配量瓶传送机构；所述灌装座体于配量瓶传送机构上方设置有多个升降机构；所述升降机构顶部安装有六通电磁阀；所述六通电磁阀其四端通过随动管分别安装一长嘴灌装阀；所述长嘴灌装阀固定于升降机构上；所述六通电磁阀其剩余两端分别接进气管和出气管；所述进气管连接到纯化装置输出端；所述出气管连接到纯化装置输入端；所述进气管上依次设置有第一进气阀、计量腔和第二进气阀；所述出气管上安装有出气阀。
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