[实用新型]扫描式曝光设备有效
| 申请号： | 201620544254.4 | 申请日： | 2016-06-07 |
| 公开（公告）号： | CN205910492U | 公开（公告）日： | 2017-01-25 |
| 发明（设计）人： | 许铭案 | 申请（专利权）人： | 许铭案 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京汇泽知识产权代理有限公司11228 | 代理人： | 毛广杰 |
| 地址： | 中国台湾新竹*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种扫描式曝光设备，包含基座、线性光源、控制电路板以及至少一传动机构；其中基座具有一平台，可摆置一基板、一光罩的组合体以进行一微影制程；至少一传动机构配置于基座上；线性光源配置于至少一传动机构的其中之一上，该至少一传动机构可带动该线性光源进行作动；一线性光源电连接该控制电路板，该线性准直光用以执行该微影制程；控制电路板控制传动机构带动线性光源移动至少一作业周期，并控制线性光源于该至少一作业周期的移动期间持续产生线性准直光，以对基板、光罩的组合体进行至少一次的面曝光，据以完成该微影制程。本实用新型不需要复杂的光学机构，且设备结构简单，可达到大幅降低曝光设备的成本的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 扫描 曝光 设备 | ||
【主权项】：
一种扫描式曝光设备，其特征在于，包括：一基座，该基座具有一平台，该平台上摆置一基板以及一光罩的组合体；一控制电路板；一线性光源，电连接该控制电路板，并配置多个发光组件，该多个发光组件能够产生一线性准直光；以及至少一传动机构，配置于该基座上，连接该控制电路板，该线性光源配置于至少一该传动机构的其中之一上，该至少一传动机构能够带动该线性光源进行作动。
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