[实用新型]一种间隙检测装置

摘要

本实用新型涉及蒸镀技术领域，尤其涉及一种间隙检测装置，设于载具上，用于在载具相对基板移动时检测载具与基板之间的间距，包括：基座，基座设于载具上；旋转机构，旋转机构可旋转地设于基座上，在载具与基板之间的间距小于预设距离时，旋转机构能够与基板接触并产生旋转；旋转角度测量机构，旋转角度测量机构用于实现旋转机构旋转角度的测量。通过旋转机构的旋转角度与预设距离值即可计算出载具与基板之间的间距，实现了载具与基板之间间距的准确测量，且该间隙检测装置的工作性能不受真空环境的影响和破坏，因此能够在真空蒸镀设备的真空腔内对载具与基板之间的间距进行测量，从而能够减少载具与基板的干涉风险，进而保障传送安全。

主权项

一种间隙检测装置，设于载具上，用于在所述载具相对基板移动时检测所述载具与所述基板之间的间距，其特征在于，包括：基座，所述基座设于所述载具上；旋转机构，所述旋转机构可旋转地设于所述基座上，在所述载具与所述基板之间的间距小于预设距离时，所述旋转机构能够与所述基板接触并产生旋转；旋转角度测量机构，所述旋转角度测量机构用于实现所述旋转机构旋转角度的测量。