[实用新型]一种磁控溅射镀膜原膜基带卷绕抻平辊有效
| 申请号： | 201620536419.3 | 申请日： | 2016-06-02 |
| 公开（公告）号： | CN205774782U | 公开（公告）日： | 2016-12-07 |
| 发明（设计）人： | 王鲁南;杜杰;朱丽萍;叶智镇;李锺允;朴勝一;全武贤;朴翰镇;王建华;窦立峰 | 申请（专利权）人： | 南京汇金锦元光电材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/56 |
| 代理公司： | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙)11350 | 代理人： | 王清义 |
| 地址： | 210046 江苏省南*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本技术涉及磁控溅射镀膜领域，提供一种磁控溅射镀膜原膜基带卷绕抻平辊，用于在柔性、卷绕式、连续型磁控溅射镀膜作业过程中中卷绕基带，并在卷绕基带时对基带在幅宽方向上抻平；一种磁控溅射镀膜原膜基带卷绕抻平辊，包括辊轴，辊轴由硬质材料制成；辊轴呈两端细中间粗的鼓形；辊轴外表面中截面圆的直径大于辊轴外表面端面圆的直径；在辊轴外表面上还设置有关于辊轴中截面对称的螺旋凹槽。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 磁控溅射 镀膜 基带 卷绕 抻平辊 | ||
【主权项】：
一种磁控溅射镀膜原膜基带卷绕抻平辊，包括辊轴，其特征是，辊轴由硬质材料制成；辊轴呈两端细中间粗的鼓形；辊轴外表面中截面圆的直径大于辊轴外表面端面圆的直径；在辊轴外表面上还设置有关于辊轴中截面对称的螺旋凹槽。
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