[实用新型]极紫外光源收集镜温度的空间分布测量系统

摘要

极紫外光源收集镜温度的空间分布测量系统，属于光学测量领域。为了解决常用的纳秒热反射试验装置的两束激光束很难同时聚焦在样品的表面以及信号的信噪比差的问题。所述激光束依次经过二向色镜、分束片和透镜直射在样品上；偏振出射光入射至快速响应探测器；重合激光束经过样品的反射后入射至快速响应探测器；第一激光束、第二激光束分别垂直入射到反光镜上；CCD的表面对第五激光束进行反射后与偏振出射光、第四激光束重合并照射到样品的表面；样品表面反射的激光束经过光阑入射至快速响应探测器。有益效果为很容易的将两束激光束聚焦到样品表面，将信号的信噪比提高一个数量级，适用于对极紫外光源收集镜温度的空间分布进行测量。

主权项

极紫外光源收集镜温度的空间分布测量系统，该系统包括纵向热导率测量装置和横向扩散率测量装置；所述纵向热导率测量装置包括一号纳秒激光器(1‑1)、一号氦氖激光器(1‑2)、一号分束片(1‑3)、一号硅探测器(1‑4)、一号示波器(1‑5)、一号快速响应探测器(1‑6)、一号1/2玻片(1‑7)、一号偏振晶体(1‑8)、一号反光镜(1‑11)、二号反光镜(1‑12)和一号透镜(1‑9)；一号纳秒激光器(1‑1)发射的激光束通过一号分束片(1‑3)分束后分别照射在一号反光镜(1‑11)上和一号硅探测器(1‑4)上；一号氦氖激光器(1‑2)发射的激光束通过一号1/2玻片(1‑7)入射至一号偏振晶体(1‑8)上；一号硅探测器(1‑4)的触发信号输出端与一号示波器(1‑5)的触发信号输入端相连，一号快速响应探测器(1‑6)的快速响应输出端与一号示波器(1‑5)的快速响应输入端相连；所述横向扩散率测量装置包括二号纳秒激光器(2‑1)、二号氦氖激光器(2‑2)、二号分束片(2‑3)、二号硅探测器(2‑4)、二号示波器(2‑5)、二号快速响应探测器(2‑6)、二号1/2玻片(2‑7)、二号偏振晶体(2‑8)、七号反光镜(2‑21)、八号反光镜(2‑23)、九号反光镜(2‑24)和二号透镜(2‑9)；二号纳秒激光器(2‑1)发射的激光束通过二号分束片(2‑3)进行分束，二号分束片(2‑3)分束后的一束激光束入射至二号硅探测器(2‑4)，二号氦氖激光器(2‑2)发射的激光束通过二号1/2玻片(2‑7)入射至二号偏振晶体(2‑8)；二号硅探测器(2‑4)的触发信号输出端与二号示波器(2‑5)的触发信号输入端相连，二号快速响应探测器(2‑6)的快速响应输出端与二号示波器(2‑5)的快速响应输入端相连；其特征在于，所述纵向热导率测量装置还包括二向色镜(1‑13)和二号分束片(1‑14)；一号反光镜(1‑11)反射的激光束依次经过二向色镜(1‑13)、二号分束片(1‑14)和一号透镜(1‑9)直射在样品(10)的表面；一号偏振晶体(1‑8)的一束偏振出射光经二向色镜(1‑13)反射后与一号反光镜(1‑11)反射的激光束重合，一号偏振晶体(1‑8)的另一束偏振出射光经过二号反光镜(1‑12)的反射后入射至一号快速响应探测器(1‑6)；直射在样品(10)的表面的重合激光束经过样品(10)的反射后依次经过一号透镜(1‑9)、二号分束片(1‑14)入射至一号快速响应探测器(1‑6)；所述横向扩散率测量装置还包括三号分束片(2‑22)、四号分束片(2‑20)、可翻折反射镜(2‑12)、CCD(2‑11)、光阑(2‑25)；二号分束片(2‑3)分束的另一束激光束入射至三号分束片(2‑22)；三号分束片(2‑22)将入射激光束分成三束激光束，该三束激光束分别为第一激光束、第二激光束和第三激光束，第一激光束垂直入射到七号反光镜(2‑21)上，第二激光束垂直入射到八号反光镜(2‑23)上，第三激光束通过四号分束片(2‑20)后被分束成第四激光束和第五激光束，第五激光束通过可翻折反射镜(2‑12)的反射后垂直照射在CCD(2‑11)的表面上；CCD(2‑11)的表面对第五激光束进行反射后，再次经过可翻折反射镜(2‑12)后与二号偏振晶体(2‑8)的偏振出射光重合，并形成初级共线激光束，初级共线激光束入射到四号分束片(2‑20)后与第四激光束重合，并形成最终共线激光束，最终共线激光束通过二号透镜(2‑9)后垂直照射到样品(10)的表面；样品(10)表面反射的最终共线激光束经过九号反光镜(2‑24)反射后入射至光阑(2‑25)，光阑(2‑25)的出射光入射至二号快速响应探测器(2‑6)。