[实用新型]多层合金膜结构声表面波器件有效
| 申请号： | 201620530946.3 | 申请日： | 2016-06-04 |
| 公开（公告）号： | CN205647460U | 公开（公告）日： | 2016-10-12 |
| 发明（设计）人： | 米佳;刘晓莉;朱勇;赵雪梅;李燕;蒋欣;焉秋娟;陈湘渝;张龙;董加和;王岚;伍平 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第二十六研究所 |
| 主分类号： | H03H9/15 | 分类号： | H03H9/15 |
| 代理公司： | 重庆博凯知识产权代理有限公司 50212 | 代理人： | 李海华 |
| 地址： | 400060 *** | 国省代码： | 重庆;50 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种多层合金膜结构声表面波器件，包括压电基片和制作在压电基片表面的叉指换能器，所述叉指换能器为三层结构，从下往上依次为打底层、中间层和表层，其中打底层为钛层，中间层为铜层或者金层，表层为AlCu合金层或者Al层。本实用新型能够提升声表面波器件的相对带宽和功率承受能力，采用此多层合金膜结构的声表面波器件叉指换能器有助于提高换能器指条形貌制作的一致性。 | ||
| 搜索关键词： | 多层 合金 膜结构 表面波 器件 | ||
【主权项】：
多层合金膜结构声表面波器件，包括压电基片和制作在压电基片表面的叉指换能器，其特征在于：所述叉指换能器为三层结构，从下往上依次为打底层、中间层和表层，其中打底层为钛层，中间层为铜层或者金层，表层为AlCu合金层或者Al层。
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