[实用新型]用于数字平版印刷术的系统有效
| 申请号： | 201620526899.5 | 申请日： | 2016-06-02 |
| 公开（公告）号： | CN205982983U | 公开（公告）日： | 2017-02-22 |
| 发明（设计）人： | J·怀特;T·莱帝克 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司31100 | 代理人： | 侯颖媖 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本实用新型描述了用于数字平版印刷术的系统。所述系统可以包括板件、至少一个台架，所述至少一个台架设置在所述板件上及能够支撑基板以便处理、至少一个激光干涉仪，耦接到所述板件的所述至少一个激光干涉仪用于测量所述台架和/或所述基板的位置和取向、以及控制器，所述控制器能够接收反馈。对所述台架和/或所述基板的准确测量将允许台架具有较低刚度，例如，以100Hz或更小的频率来移动的台架。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 数字 平版 印刷术 系统 | ||
【主权项】：
一种用于数字平版印刷术的系统，所述系统包括：板件；至少一个激光干涉仪，所述至少一个激光干涉仪耦接到所述板件；台架，所述台架设置在所述板件上，其中所述台架能够支撑激光所导向的基板；所述台架被配置成在X方向上移动；以及所述台架的移动的谐振频率为100Hz或更小；以及控制器，所述控制器能够接收关于所述台架的位置的反馈。
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