[实用新型]一种磁控溅射镀膜基带卷绕纠偏装置有效
| 申请号： | 201620526319.2 | 申请日： | 2016-06-02 |
| 公开（公告）号： | CN205774781U | 公开（公告）日： | 2016-12-07 |
| 发明（设计）人： | 王鲁南;杜杰;李锺允;朴勝一;全武贤;朴翰镇;王建华;窦立峰 | 申请（专利权）人： | 南京汇金锦元光电材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/56 |
| 代理公司： | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙)11350 | 代理人： | 王清义 |
| 地址： | 210046 江苏省南*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及磁控溅射镀膜领域，提供一种磁控溅射镀膜基带卷绕纠偏装置，用于柔性、卷绕式、连续型磁控溅射镀膜作业过程中抽真空时阻止原膜基带卷层之间的微量滑动偏移；一种磁控溅射镀膜基带卷绕纠偏装置，包括设置在放卷机架上、位于原膜基带卷两端的挡板，由硬质材料制成的挡板紧贴原膜基带卷端面。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 磁控溅射 镀膜 基带 卷绕 纠偏 装置 | ||
【主权项】：
一种磁控溅射镀膜基带卷绕纠偏装置，其特征是，包括设置在放卷机架上、位于原膜基带卷两端的挡板，由硬质材料制成的挡板紧贴原膜基带卷端面。
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