[实用新型]一种集成调整装置有效
申请号: | 201620519923.2 | 申请日: | 2016-05-31 |
公开(公告)号: | CN205827052U | 公开(公告)日: | 2016-12-21 |
发明(设计)人: | 陶洪建;马喜宝 | 申请(专利权)人: | 上海微电子装备有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)31237 | 代理人: | 屈蘅;李时云 |
地址: | 201203 上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种集成调整装置,包括输入机构、第一调整机构和第二调整机构,所述输入机构包括输入端、分流机构、第一传动机构、第二传动机构、第一离合器、第二离合器、输入轴、第一输出轴和第二输出轴,所述输入端通过所述输入轴连接所述分流机构,所述第一传动机构一端通过所述第一输出轴连接所述分流机构,另一端连接所述第一调整机构,所述第二传动机构一端通过所述第二输出轴连接所述分流机构,另一端连接所述第二调整机构,所述第一离合器设置在所述第一输出轴上,所述第二离合器设置在所述第二输出轴上;本实用新型所述集成调整装置通过所述输入机构的创新组合,采用单一旋转运动输入就能够同时进行三点调平,提高了生产效率。 | ||
搜索关键词: | 一种 集成 调整 装置 | ||
【主权项】:
一种集成调整装置,其特征在于,包括输入机构、第一调整机构和第二调整机构,所述输入机构包括输入端、分流机构、第一传动机构、第二传动机构、第一离合器、第二离合器、输入轴、第一输出轴和第二输出轴,所述输入端通过所述输入轴连接所述分流机构,所述第一传动机构一端通过所述第一输出轴连接所述分流机构,另一端连接所述第一调整机构,所述第二传动机构一端通过所述第二输出轴连接所述分流机构,另一端连接所述第二调整机构,所述第一离合器设置在所述第一输出轴上,所述第二离合器设置在所述第二输出轴上。
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