[实用新型]激光辅助锡介质放电极紫外光源小焦斑光学聚焦系统

摘要

激光辅助锡介质放电极紫外光源小焦斑光学聚焦系统。涉及一种光电测量技术。为了解决现有的聚焦系统的焦斑半径过大，导致固体锡汽化效果不好的问题。石英窗设置在电真空室的侧壁上，全反镜位于电真空室内部，激光器发射的激光束垂直照射在石英窗上；一号外壳和二号外壳均为空心圆柱体，一号外壳和二号外壳同轴设置，全透镜固定在二号外壳的内壁上；双球面凸透镜和单球面凸透镜均位于一号外壳内部；变焦环和对焦环均位于一号外壳的外壁上，光学系统位于激光器和石英窗之间。有益效果为照射在电真空室内锡靶上焦斑直径能小于20μm，能够将固体锡充分汽化。本实用新型适用于对固体锡进行汽化。

主权项

激光辅助锡介质放电极紫外光源小焦斑光学聚焦系统，它包括激光器(1)、石英窗(4)和全反镜(5)；石英窗(4)设置在电真空室(3)的侧壁上，全反镜(5)位于电真空室(3)内部，全反镜(5)用于将通过石英窗(4)进入到电真空室(3)内部的激光束反射到固体锡靶上；激光器(1)位于石英窗(4)的正前方，激光器(1)发射的激光束垂直照射在石英窗(4)上；其特征在于，它还包括光学系统(6)；光学系统(6)包括一号外壳(6‑1)、二号外壳(6‑7)、全透镜(6‑2)、双球面凸透镜(6‑3)、单球面凸透镜(6‑4)、变焦环(6‑6)和对焦环(6‑5)；一号外壳(6‑1)和二号外壳(6‑7)均为空心圆柱体，一号外壳(6‑1)和二号外壳(6‑7)同轴设置，二号外壳(6‑7)的一端固定在一号外壳(6‑1)的一端；全透镜(6‑2)固定在二号外壳(6‑7)的内壁上，并且二号外壳(6‑7)的轴线垂直于全透镜(6‑2)；双球面凸透镜(6‑3)和单球面凸透镜(6‑4)均位于一号外壳(6‑1)内部，并且一号外壳(6‑1)的轴线、双球面凸透镜(6‑3)的主光轴、单球面凸透镜(6‑4)的主光轴重合在一起；变焦环(6‑6)和对焦环(6‑5)均位于一号外壳(6‑1)的外壁上，对焦环(6‑5)用于调节单球面凸透镜(6‑4)位于一号外壳(6‑1)内部的位置，变焦环(6‑6)用于调节双球面凸透镜(6‑3)位于一号外壳(6‑1)内部的位置；光学系统(6)位于激光器(1)和石英窗(4)之间，并且，激光器(1)发射的激光束依次通过全透镜(6‑2)、单球面凸透镜(6‑4)、双球面凸透镜(6‑3)和石英窗(4)。