[实用新型]一种滤光片检测装置有效
申请号: | 201620497718.0 | 申请日: | 2016-05-27 |
公开(公告)号: | CN205786390U | 公开(公告)日: | 2016-12-07 |
发明(设计)人: | 赵虎明 | 申请(专利权)人: | 群光电子(苏州)有限公司 |
主分类号: | G01N21/94 | 分类号: | G01N21/94 |
代理公司: | 常州佰业腾飞专利代理事务所(普通合伙)32231 | 代理人: | 翁斌 |
地址: | 215200 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型涉及滤光片检测技术领域,尤其是一种滤光片检测装置,包括显微镜和位于显微镜下方的检测平台,检测平台上设有盛水看盘组件,盛水看盘组件包括水盘和法兰盘,水盘上设有支撑架,法兰盘放置在支撑架上,法兰盘的上表面贴有保护膜,保护膜上设置滤光片。本实用新型的滤光片检测装置在使用时将滤光片放于水盘上,使得滤光片底部与水接近,以此增加显微镜观察之景深,从而辨识滤光片上下层面的脏点,显微镜倍率调至40倍就可以清晰观察到脏点,检出率高,此外,配合机台可以实现边生产边抽检,切割不良可以及时发现,达到切割制程管控效率提高,而且无需增加人力。 | ||
搜索关键词: | 一种 滤光 检测 装置 | ||
【主权项】:
一种滤光片检测装置,包括显微镜(1)和位于显微镜(1)下方的检测平台,其特征在于:所述检测平台上设有盛水看盘组件,所述盛水看盘组件包括水盘(2)和法兰盘(3),所述水盘(2)上设有支撑架(21),所述法兰盘(3)放置在所述支撑架(21)上,所述法兰盘(3)的上表面贴有保护膜,所述保护膜上设置所述滤光片(4)。
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