[实用新型]六氟化硫分析仪校验用宽域动态配气系统

摘要

本实用新型提供一种六氟化硫分析仪校验用宽域动态配气系统，包括SF₆气瓶、多个样气气瓶以及主气路，SF₆气瓶的输出端接主气路的输入端，特征是：主气路从连接SF₆气瓶的输出端起始依次设有减压阀、第一质量流量控制器、电磁阀、第一静态混合器、第二质量流量控制器、第二静态混合器、第三质量流量控制器和第三静态混合器，SF₆气瓶的输出端还经设有第四质量流量控制器的支气路接第二质量流量控制器与第二静态混合器之间的主气路上、经设有第五质量流量控制器的支气路接第三质量流量控制器与第三静态混合器之间的主气路上；每个样气气瓶的输出端分别经依次设有第六质量流量控制器和电磁阀的支路连通主气路。本系统操作方便、配气效率高、配制气体浓度范围宽。

主权项

一种六氟化硫分析仪校验用宽域动态配气系统，包括SF₆气瓶(1)、多个样气气瓶(2)以及主气路，SF₆气瓶(1)的输出端接主气路的输入端，其特征在于：主气路从连接SF₆气瓶(1)的输出端起始依次设有减压阀(3)、电磁阀(5)、第一质量流量控制器(4)、第一静态混合器(6)、第二质量流量控制器(7)、第二静态混合器(8)、第三质量流量控制器(9)和第三静态混合器(10)，SF₆气瓶(1)的输出端还经主气路上的电磁阀(5)以及设有第四质量流量控制器(11)的支气路接第二质量流量控制器(7)与第二静态混合器(8)之间的主气路、经主气路上的电磁阀(5)以及设有第五质量流量控制器(12)的支气路接第三质量流量控制器(9)与第三静态混合器(10)之间的主气路上；每个样气气瓶(2)的输出端分别经依次设有减压阀(3)、第六质量流量控制器(13)和电磁阀(5)的支路连通主气路，连接点位于第一静态混合器(6)的输入端。