[实用新型]一种真空离子蒸发镀膜装置有效
| 申请号： | 201620435356.2 | 申请日： | 2016-05-13 |
| 公开（公告）号： | CN205556765U | 公开（公告）日： | 2016-09-07 |
| 发明（设计）人： | 关振奋 | 申请（专利权）人： | 晋谱（福建）光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26;C23C14/56 |
| 代理公司： | 福州市景弘专利代理事务所(普通合伙) 35219 | 代理人： | 黄以琳;林祥翔 |
| 地址： | 351111 福建省莆田市高新技*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种真空离子蒸发镀膜装置，该真空离子蒸发镀膜装置的壳体包括三层密封壳体，并在不同密封壳体之间设置有夹层空腔，在不同的夹层空腔内和在壳体外分别设置了真空泵，通过逐层抽真空的方式对中央真空室进行抽真空，大大提高了抽真空的效果，从而使本真空离子蒸发镀膜装置能够制得连续薄膜，提高薄膜在基板上的附着力，以及工艺重复性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空 离子 蒸发 镀膜 装置 | ||
【主权项】：
一种真空离子蒸发镀膜装置，包括壳体、抽真空装置和坩埚，其特征在于，所述壳体由外至内依次包括外层壳体、中层壳体和内层壳体，所述外层壳体、中层壳体和内层壳体为密封壳体，内层壳体围成中央真空室，内层壳体与中层壳体围成第一夹层空腔，中层壳体与外层壳体围成第二夹层空腔；所述抽真空装置包括第一真空泵、第二真空泵、第三真空泵和多个用于检测真空值的真空压力传感器，所述中央真空室、第一夹层空腔和第二夹层空腔内分别设置有所述真空压力传感器；第一真空泵设置于第一夹层空腔内，并通过密封管道与中央真空室连通；第二真空泵设置于第二夹层空腔内，并通过密封管道与第一夹层空腔连通；第三真空泵设置于外层壳体外，并通过密封管道与第二夹层空腔连通；所述坩埚设置于中央真空室的底部，坩埚的底部设置有加热装置，坩埚的上方设置有用于夹装镀膜基材的固定装置。
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